七星電子等離子去膠機面世

近日,七星電子半導體裝備家族再添新丁,北方微電子公司發布了新產品IDE300設備,應用于先進封裝Bumping(倒裝)的等離子去膠工藝。自主研發的等離子去膠設備,其優異的工藝性能、多元化的工藝應用獲得客戶認可,首批產品成功交付客戶。

本次公司推出的IDE300設備,是在原有12吋刻蝕設備的技術基礎上,通過逐步擴展工藝應用而開發的新產品。該機臺可兼容8吋和12吋晶圓,腔室數量可以靈活配置,不但能滿足用戶對產線高效、低損、高均勻性的工藝要求,也最大限度的滿足了其靈活的產品及產能配置要求。

作為先進封裝Bumping工藝的必備設備,等離子去膠設備豐富了公司在12吋先進集成電路制造設備領域的產品線,為企業開辟了一塊新的市場空間。

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