七星電子深硅刻蝕設備成功進入海外生產線

12月9日,由七星電子全資子公司北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司(以下簡稱“北方微電子”)自主研發的8英寸深硅等離子刻蝕機HSE200L正式搬入馬來西亞國際領先的晶圓代工生產線,用于 MEMS和Power Device等工藝制程量產。HSE200L是北方微電子首臺進入海外主流晶圓代工廠的深硅等離子刻蝕設備,開啟了北方微電子深硅刻蝕設備走向世界的新征程。

作為中國自主開發半導體高端裝備的先行者,北方微電子新一代深硅刻蝕機HSE200L以全新的設計理念來實現高深寬比刻蝕工藝,刻蝕速率快、工藝性能優異,設備多項關鍵指標達到國際先進水平,全面滿足MEMS領域刻蝕工藝需求。

2016年,北方微電子刻蝕機、PVD和CVD以先進的工藝指標、有競爭力的價格和完善的客戶服務贏得了業內用戶的信賴,在集成電路、先進封裝、半導體照明等多個領域斬獲大量海內外訂單。

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