北方華創推出200mm高性能多功能磁控濺射系統并實現銷售

日前,北方華創發布了200mm新型高性能多功能磁控濺射系統Polaris G620,該設備基于該公司成熟的Cluster Tool平臺構架,搭載全自動化裝卸載系統,能更好地滿足先進封裝、微機電系統等多領域制程的發展需求。Polaris G620磁控濺射系統的推出,為全球200mm客戶提供了更優質的選擇,機臺發布首月就成功實現銷售。

近年來,物聯網、汽車電子、移動設備、可穿戴設備等行業的迅速發展,為 200mm設備市場注入了新的成長動力,設備需求反轉上升。Polaris G620的成功研制,順應了200mm制程技術的發展,具備優異的機臺性能,可滿足不同濺射工藝制備的需求,高溫PVD工藝可滿足最高400℃基片溫度的濺射工藝需求,運用特殊的傳輸系統和工藝組件設計,可進行最低100μm厚度WaferTaiko wafer的傳輸和工藝。

此項完全自主研發并擁有自主知識產權的Ploaris G620高性能多功能磁控濺射系統,可為200mm半導體各領域提供高性價比的設備及工藝解決方案。

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