北方華創:14納米實現與國外設備同步驗證

5月23日舉行02重大專項成果發布會,北方華創作為02專項的重點承擔單位,通過近九年的科技攻關,完成了刻蝕機、磁控濺射、氧化爐、低壓化學氣相沉積、清洗機、原子層沉積等集成電路設備90/55/40/28納米工藝驗證,實現產業化。

北方華創的刻蝕機等三大類集成電路設備進入14納米工藝驗證階段,首次實現與國外設備同步驗證。在02專項支持下,12英寸集成電路設備實現從無到有,批量銷售,成為公司的主要收入來源之一。并通過02專項成果擴展應用,公司成為LED、光伏等泛半導體設備國際主流供應商,近幾年的銷售收入平均增速達到40%。

北方華創是承擔02專項裝備項目最多的單位,同時也是零部件的最大用戶。因此,公司與上下游交流的機會很多,不但增進了相互信任,也帶來了商機。

中芯國際作為北方華創的驗證單位,承擔了公司大部分專項的驗證工作,雙方建立了緊密的合作關系。中芯國際在開發28納米工藝初期,根據自身工藝的特點,需要一種單片快速退火設備,基于雙方的了解,主動提出由北方華創來開發此設備。雙方進行了深入的交流,在不到一年的時間里,成功完成設備開發及工藝驗證,成為中芯國際28納米生產線基線配置產品,實現批量銷售。

此外,通過與本土零部件企業合作,大幅提升了設備的性價比,在LED、光伏等領域全面替代進口產品,不僅增加了客戶效益,也提高了企業的經濟效益,成為海內外主流產品。

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