北方華創SaquaTM 單片清洗機進駐中芯北方28納米生產線

近日,北方華創集團下屬全資子公司北京北方華創微電子裝備有限公司SaquaTM單片清洗機正式進駐中芯北方集成電路制造(北京)有限公司(簡稱“中芯北方”)28納米生產線,這是國產半導體設備在集成電路領域取得了又一重大突破。

集成電路銅制程清洗工藝要求在顆粒控制、銅腐蝕率、金屬污染控制、交叉污染控制等方面有極高的工藝標準。北方華創自主研發的新一代SaquaTM單片清洗機,是繼90納米、65/55納米產品后的又一次升級,新設備能完全滿足集成電路代工廠28納米技術代的生產工藝要求。同時,SaquaTM單片清洗機兼具通孔/溝槽刻蝕后清洗、襯墊去除后的清洗等多種工藝,支持多任務并行處理,可最大程度提高產能。

到目前為止,北方華創已經有硅刻蝕機、PVD設備、單片退火設備、氧化爐、退火爐、LPCVD設備及單片清洗機等進入國內主流集成電路生產線,實現穩定量產。北方華創將以此次進駐為契機,進一步跟進客戶需求,為客戶創造更多價值,實現國產集成電路設備的不斷超越。

 

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