北方華創主導編寫的負壓擴散爐SEMI光伏標準發布

“SEMI中國光伏標準技術委員會2018年度春季會議”日前在上海召開,北方華創作為SEMI中國光伏標準技術委員會的核心委員單位參加了會議。

本次會議上,北方華創主導編寫的SEMI標準《Guide for Specifying Low Pressure Horizontal Diffusion Furnace》(SEMI標準號:SEMI PV 81-0318,中文名:用于規范負壓臥式擴散爐的指南)正式發布,SEMI中國光伏標準技術委員會主席張光春先生為北方華創頒發了《SEMI標準發布證書》《SEMI標準出版證書》。該標準于2015年3月由北方華創牽頭組織編寫,期間經過多輪討論與完善,于2017年10月SEMI光伏標準秋季會議上通過最后一輪全球投票,在完成SEMI標準最后的Audit & Review流程審核后向全球發布。

SEMI中國光伏標準技術委員會成立于2011年12月,截至目前,已發布了25項SEMI國際產業標準,另有18項標準正在制定中,SEMI中國“光標委”已經成為全球最大最活躍的標準委員會。

北方華創一直積極參與SEMI標準的制定,到目前為止,共參與制定SEMI半導體標準3項、SEMI光伏標準2項,代表國內企業積極在全球半導體及光伏行業發出中國聲音。

負壓擴散爐SEMI標準參編單位包括晶澳、阿特斯、天合等下游電池和組件企業,以及相關的設備企業。負壓擴散爐SEMI標準的發布,說明中國光伏生產設備相關指標達到國際先進水平,具備全球標準的制定能力。北方華創是國內領先的半導體設備制造企業,利用集成電路設備技術的延伸應用,大力發展與提升光伏、LED等泛半導體設備,成為高端設備的代表企業之一,其中負壓擴散爐、LED刻蝕機、LED PVD技術指標及工藝性能處于國際領先水平,可替代進口產品,成為下游用戶的主要供應商。

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