“2018中國半導體材料及設備產業發展大會”召開

2月2日,“2018中國半導體材料及設備產業發展大會”在京召開。本次大會由中國電子信息產業發展研究院主辦、邳州市政府協辦,旨在通過梳理半導體產業的發展方向、推介半導體材料及設備產業的創新理念,共同促進半導體產業生態環境的構建,推動我國集成電路產業的健康發展。中國電子信息產業發展研究院總工程師烏寶貴、邳州市委書記陳靜出席會議并發表致辭。中國半導體行業協會副理事長于燮康、中科院微電子所副總工程師趙超等行業專家與企業嘉賓出席并發表演講。

烏寶貴總工程師在致辭中指出,半導體設備和材料作為整個產業鏈的上游環節,對整個行業的發展都起著至關重要的支撐作用。在半導體行業中有一種說法,叫做“一代器件、一代工藝、一代材料與設備”。特別是當整個行業進入納米時代以后,微納制造技術更多地依靠引入新材料和微觀加工設備的加工能力來實現技術突破,更加注重通過材料和設備與工藝的全產業鏈深度合作來實現產業技術的更新換代,也就更加突顯出了材料與設備的戰略性和基礎性作用。然而,國產設備與材料產業相對滯后于市場的發展需求,正在制約我國產業的進一步發展。如何解決行業內仍然存在的問題,促進設備與材料產業的健康發展,將是今后我們工作里的重中之重。

陳靜書記在致辭中指出,邳州積極搶抓機遇,大力實施“工業立市、產業強市”戰略,聚力產業創新,聚焦生態富民,主攻高端的半導體、智慧的機器人、循環的產業鏈。半導體產業作為國家戰略性新興產業,是全球戰略競爭新的制高點。我們堅持用高端產業“虹吸”高端人才、以高端人才助推高端產業,把發展半導體材料和設備產業作為主攻方向,建成歐洲半導體海歸人才創業園,設立蘇北首家諾貝爾獎得主工作室,成立中國光刻技術研究中心、中國半導體科技創新中心、中科院微電子研究所徐州研修院等“國字號”科研平臺,培育引進諾貝爾獎得主2人;正以博康信息、影速光電、上達電子華光激光、魯汶儀器為龍頭,全力打造光刻材料基地、生產測試設備基地、顯示材料生產基地、晶圓制造和外延基地,加快推進中國電子智能小鎮建設,半導體電子材料和設備產業基地成功獲批國家火炬特色產業基地。

中國半導體行業協會副理事長于燮康以“中國集成電路封測產業鏈與創新平臺建設”為題 發表演講指出,半導體制造是所有制造業里最為復雜,最有科技含量的行業之一,其產業鏈非常長,流程十分復雜,要經過電子硅、拉制單晶、切割單晶、切磨拋制取晶圓、光刻、蝕刻、離子注入、金屬沉積、金屬層、互連、清洗、晶圓測試與分割、核心封裝、分級測試等二百個步驟;在生產和封測中,需要光刻機、刻蝕機、減薄機、劃片機、引線鍵合機、倒裝機、塑封機、切筋打彎等封造設備的輔助。正是由于半導體制造與傳統制造不同:不可修復、流程復雜、制作周期長、機器精度高、持續投入強度高,營運成本高、運作系統非常復雜,因此要發展半導體產業非常強調整個團隊的互動合作。

中科院微電子所副總工程師趙超指出,經過十來年的建設已經建設了相對完整的產業鏈,IC設計能力有了大幅提升,晶圓制造已經成功量產28納米工藝,基本上跟上了國際發展的步伐,封測從中低端進入高端領域,裝備材料實現了從無到有,取得相當進步,培養了一批骨干企業。隨著國家政策出臺,我國集成電路行業投資熱情空前高漲,預計到2020年晶圓總產能將會達到125萬片。

此外,工信部賽迪智庫集成電路研究所副所長林雨在本次大會上,從四個維度分析了我國半導體產業發展趨勢。中國電子科技集團公司第四十五研究所集團首席專家柳濱介紹了“國內半導體設備發展驅動因素及選擇”。中國電子專用設備工業協會副秘書長金存忠發表了“中國大陸半導體設備現狀與展望”的演講。邳州經濟開發區工作委員會書記王廣軍介紹了邳州市半導體產業發展新思路。此外,徐州博康信息化學品有限公司董事長傅志偉、江蘇魯汶儀器有限公司經理許開東、北京航星網訊技術公司總經理張揚、泰瑞達有限公司半導體測試部中國區總經理晏斌、徐州大晶新材料科技集團有限公司總經理康文兵、華興激光總經理羅帥等也在會上發表重要演講。

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