IC材料業新趨勢漸顯 廠商需明確重點進行布局

近日,臺積電公布了2018年3月營收報告,2018年3月營收約合35.54億美元,第一季度累計營收約合85.03億美元。業內專家認為,臺積電3月份營收突破千億元新臺幣離不開比特大陸的ASIC訂單,2017年臺積電在南京建廠,中國大陸的半導體市場為中國臺灣企業提供了廣闊的平臺。

隨著2017年臺積電、聯電等中國臺灣企業加大在中國大陸投資,臺灣半導體產業鏈在設備以及材料方面逐漸向大陸轉移。記者在參加Semicon China 2018電子展時,采訪了臺灣永光化學工業股份有限公司處長孫哲仁,他暢談了中國大陸以及中國臺灣半導體公司互利共贏的合作關系。孫哲仁表示,近期臺積電、聯電在大陸紛紛加大投資力度,一方面拓展了企業本身的市場空間,另一方面推動了中國臺灣產業向中國大陸逐漸轉移。

“這對完善中國臺灣的半導體產業鏈有很大的作用,尤其是半導體設備、材料等配套廠商的跟進。隨著這些大廠(臺積電、聯電)在中國大陸建立生產供應基地,中國大陸的半導體設備、零組件以及材料廠商都會受益。”孫哲仁說。

永光化學是半導體、TFT顯示、LED等上游材料的知名企業,G-line與I-line等光阻產品深受市場歡迎,晶圓代工產業的黃光制程應用廣泛。隨著制造技術從高納米走向低納米,產業對于材料的分辨率要求也越來越高。“例如光刻膠,隨著晶圓面積變大,要求在相同面積里面容納的東西越來越多,所以就有了G線的光刻膠、I線的光刻膠,會走向所謂的KrF,甚至于走到ArF。但是一些設備,例如EUV,面對的技術瓶頸就是光刻膠工藝難以滿足需求,這其中很大的原因是分辨率。”孫哲仁說。據記者了解,光刻膠的敏感度會根據對波長分辨率的不同有所差異,EUV選擇的波長只有跟光刻膠最敏感的波段相適應才可以達到最高吸收率,這種搭配契合度也是目前產業面對的最大挑戰。

“這便是我們正在做的事情,在整個半導體工業中,材料與封裝占很大比重,在中國臺灣企業逐步向中國大陸轉移的同時,企業需要明確發展重心,全方位推動整個產業鏈的發展。”孫哲仁說。

據記者了解,2018年永光化學將繼續重點推進晶圓、封裝使用的光刻膠技術發展,配套的SiC拋光液以及柔性顯示器所用材料也將成為工作重心,以應對未來半導體材料的變化趨勢。“采用高遷移率的FinFET,及用鍺(Ge)和III-V族元素作為溝道材料來提高電荷的遷移率,下一代器件的結構選擇,除了III-V族元素的FinFET,還有環柵的FinFET、量子阱、矽納米線等等。另外一個發展方向,可能是采用一種垂直的晶片架構,如2.5D/3D堆疊晶片及單片3D IC。隨著工藝技術改變,這些變化趨勢將逐漸顯現出來。”孫哲仁說。

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